Webservice Linux Apache

Galera criei no Delphi um webservice que atualiza banco de dados . Ele é um cgi executavel e rodou sem problema no Apache do windows , quando eu movi para o apache do linux ele fica dando no browser internal error , e quando vou ver o log tem a seguinte mensagem.:

(8)Exec format error: exec
of ... failed´ / ´Premature end of script headers:...

Alguem pode me ajudar